目前國內的干涉顯微鏡主要是由上海光學儀器一廠生產的，型號為6KA，它的工作原理就是光源通過聚光
鏡，干涉濾光片在經過另一個聚光鏡，然后射到反光鏡上，隨后通過孔徑光闌和視場光闌，經過聚光鏡
投射到分光板把投射的光束分成兩部分，一部分是透過，一部分是反射。
透過的光束經過補償板被物鏡聚焦到被測樣品的表面。最后被表面反射通過物鏡和補償板，到分光板上。
另一部分的光速從分光板反射到物鏡，再到參考鏡，經過參考鏡的反射，重新到分光板。
兩部分的光束相遇后發生干涉，可以形成鮮明的干涉帶，通過調節反光鏡，將它移動目鏡的焦平面上，
這樣我們就可以通過目鏡觀察干涉帶及被測物體的影像了。
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