介紹SEM是怎么樣的一個組合呢？
由電子光學系統與掃描第統，信號檢測以及顯示系統、供電系統、真空系統等一些部分所組成的。在我們了解的光學系統就是鏡筒由電子槍與電磁透鏡的幾級的樣品所組成的。
在我們了解的鏡筒中所有的電磁透鏡是在樣品的所上方，主要作用就是電子束的聚焦作用。而且在工作時的聚焦狀態是我們把電子束的形成。我們稱之為探針。
但是在我們對其樣品的質量厚度的問題 進行一定的條件下制備時，是可以得到二次成品的電子逸出率的，這個僅僅取決于我們樣品的表面是如何形成的角度。這個二次電子檢測時所需人系統叫做顯示系統的作用。
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