電感傳感器的就是此類輪廓儀的一個部件之一。我們一般采用的有金剛石觸針，這個觸針尖端曲率半徑標稱尺寸標準。一般我們了解半徑為2微米與5微米.10微米；這個錐度為60度與90度。測量時需要注意與工件間的配合。與這個測的表面所相垂直的。驅動器所在的速度拖動傳感器而成的。
通過針描法原理工作的表面粗糙度測量儀的裝置上一般都會由傳感器，驅動器、電子裝置、顯示裝置，微機系統工作臺的一些主要部件所組裝而成的。
這個傳感器與我們所測量的路線所直接接入平衡電橋的，線圈的電感的變化所在電橋所把平衡所失去。電子裝置將這一個電量所變化的放大所形成的。
測表面輪廓中的谷超伏，這個表面上是有一些滑行的，在產品上進行上下稱動，以一個運動的支點所發生的一個變化。
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