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電子工業中小型化趨勢材料顯微鏡研究(之一)
如今的電子工業中,其在對小型化的趨勢已經受到很多年的關注,不過這樣的趨勢在過去幾年中,對光學和力學領域的影響較大,
這種情況主要是將機械系統進行轉換,將其系統已經小型化到了微米尺寸,這類情形可以在半導體的制造研究中找到,
如果說其在對硅結構進行精細處理,利用專門知識來在生產方面進行相關設備的配備,
現在,多數微機點系統中使用的都是電子和光學,以及機械性能方面的組件構成的,還有微光機電系統也是這樣。
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