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非接觸式檢測(cè)技術(shù)研究測(cè)量顯微鏡對(duì)象（之二）
這種技術(shù)在國(guó)外，已經(jīng)嘗試將非接觸式技術(shù)使
用在對(duì)現(xiàn)場(chǎng)加工的試樣進(jìn)行測(cè)量，其在理論方面
使用了光學(xué)原理，還包括了反射和散射光的作
用，等等多種現(xiàn)象的介紹，
首先，光干涉法，其所借助的就是光學(xué)干涉原
理方面的一種測(cè)量技術(shù)，在國(guó)內(nèi)清華大學(xué)的教授
，也提出過(guò)不一樣的原理，
如：可以采用被側(cè)表面的激光反射圖，將其暗
區(qū)通過(guò)使用表面粗糙度，進(jìn)行實(shí)時(shí)的測(cè)量，
我國(guó)對(duì)長(zhǎng)城的計(jì)量測(cè)試，使用的技術(shù)是掃描測(cè)
量技術(shù)，通過(guò)自動(dòng)圖像的處理系統(tǒng)，然后借助干
涉顯微鏡中多得到的干涉圖像，再進(jìn)行自動(dòng)分
析和檢測(cè)，
這樣的技術(shù)，不僅在檢測(cè)速度方面得到了提高，
而且對(duì)干涉圖像的判讀分辨率也有了一定的提高，
這樣的技術(shù)，在超精加工的產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)中提
供了重要的手段。
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